第3个回答 2019-12-15
注:
并非用Ga+才叫FIB(In,
Au.AsPd2......),只是大多数商用FIB都是用Ga,因为-?(整理好在写).
Focused(聚焦):
将离子束聚焦
Ion(离子):
Ga
---
Ga+
Beam(束):很多离子往同一路径(方向)移动
________________________________________聚焦
太阳光(光束)通过放大镜(凸透镜)会聚成一点就叫聚焦.
同理将离子束透过静电透镜(electrostatic)聚焦称为FIB.
________________________________________离子
带电粒子叫离子(Ion);镓原子失去一个电子形成镓离子(Ga+,正离子),
氯得到一个电子形成氯离子(Cl-,负离子).
商用FIB用Ga+为离子源.如右图所示利用使用一高压电将Ga从一针尖直接拉出(Extract).
注:离子不一定仅单一元素或单一电子变化.
________________________________________
将以下各项结合在一起构成一部FIB:
Ion
Column聚焦离子枪真空系统
控制系统
(包括
Stage,
各部分协调与操控......)操作接口辅助气体
(不同应用有不同选择)