半导体FIB是什么意思?

在半导体行业里还说听见说做FIB，到底FIB是什么意思？

推荐答案 2012-09-12

FIB 是英文 Focused Ion Beam的缩写，依字面翻译为聚焦离子束。简单的说就是将Ga(镓)元素离子化成Ga+，然后利用电场加速，再利用静电透镜(electrostatic)聚焦，将高能量(高速)的Ga+打到指定的点。基本原理与SEM类似，仅是所使用的粒子不同( e- vs. Ga +)，透镜型式(磁透镜 vs. 静电透镜)位置不同。

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第1个回答 2012-09-12

用原子力显微镜看剖视图本回答被提问者采纳

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