硅片的几何参数及测试

Question

如题所述

Answer 1

单晶硅片有边长125mm、156mm的，125的又分大倒角对角线156mm和小倒角对角线165mm，
多晶硅片以边长156mm为主，对角线219.2mm。
硅片检测主要测试项目有：边长、对角线、倒角、厚度、TTV、线痕、崩边、隐裂、翘曲、油污、电阻率、少子寿命

Answer 2

硅片有边长125mm、156mm的，125的又分大倒角对角线156mm和小倒角对角线165mm，多晶硅片以边长156mm为主，对角线219.2mm。

硅片检测主要测试项目有：边长、对角线、倒角、厚度、TTV、线痕、崩边、隐裂、翘曲、油污、电阻率、少子寿命。

Answer 3

单晶硅片有边长125mm、156mm的，125的又分大倒角对角线156mm和小倒角对角线165mm，
多晶硅片以边长156mm为主，对角线219.2mm。
硅片检测主要测试项目有：边长、对角线、倒角、厚度、TTV、线痕、崩边、隐裂、翘曲、油污、电阻率、少子寿命。