汉语语法化研究的兴起和发展始于沈家煊的《“语法化”研究纵观》，他在文中介绍了“语法化”这一理论，并通过翻译国外的研究成果，如沈家煊的《实词虚化的机制——〈演化而来的语法〉评介》和文旭的《〈语法化〉简介》，为国内研究奠定了基础。1995年，刘坚等人在《中国语文》上发表了关于汉语“语法化”机制的理论性文章，这是国内首次从理论高度进行抽象归纳的重要尝试。沈家煊在1998年引入了更多国际“语法化”理论，推动了研究的热潮。
虽然“语法化”理论最初是从国外引入的，但国内学者通常将传统语言学中的“实词虚化”视为其一部分。吴福祥在2002年指出，语法化和虚化虽然有联系，但并非同一概念。中国早有实词虚化的研究，如元朝周伯琦的《六书正伪》中提到的实词古字化现象。
太田辰夫的《中国语历史文法》是最早系统研究汉语语法历史发展的著作，书中运用了语法化理论来探讨汉语语法的历史演变。1994年后，随着国外理论的推动，虚化研究升级为“语法化”，许多学者如石毓智、李讷和张谊生等开始深入研究“语法化”机制，如时态标记的诞生机制和实词副词化的触发结构等。他们的研究著作如《汉语语法化的历程》和《语法化的动因与机制》等，深化了对语言发展规律的理解。
吴福祥（2003）强调，20世纪90年代以来，研究者开始关注语言接触状态下语法化的演变，挑战了传统的语法化单一发生观，强调语言接触对语言演变的深远影响。
语法化理论是汉语语法研究的一个热点，在理论研究和语法现象的研究上，对语法化的概念、研究动向、语法化的动因与机制等进行了深入的探讨。上个世纪末到本世纪初，随着语法化理论在中国的引进和发展，中国语言学界对语法化理论也产生了很大的兴趣，成为汉语语法研究的一个热点。在理论研究和语法现象的研究上，对语法化的概念、研究动向、语法化的动因与机制等进行了深入的探讨，不少有成就的学者在这个领域结合汉语的特点取得了丰硕的成果。