第1个回答 2023-08-02
主要依赖热缺陷进行郑枝的扩散叫本征扩散。在杂质原子往半导体中进行热扩散时,如果杂质原子的浓度小于热扩散温度下半导体中的本征载流子浓度,则杂质原子的扩散系数为常数,这种扩散就称为本征扩散。只有在掺杂浓度较低、或者扩散温度不是太高时才可能是本征扩散。满足喊悉敏本征扩散条件的区域即称为本征扩散区。在本征扩散区内,如果扩散有两种杂质,则总的扩散杂质分布将是二者分别扩散所得结果的叠加(即两种杂质的扩散可以分别独立地处理)。其主要分为位错扩散、空位扩散和间隙扩散。扩散受外界因素,如杂质离子的电价和浓度等控制的而非本征因素,即结构中本征热缺陷提供的空位浓度远小于杂质空位浓度的扩散,称为非本征陆数扩散