在电子工业等净化厂房中，恒温恒湿的要求极为严格，以确保生产环境的洁净度。夏季，由于室外高温高湿，净化空调系统需进行降温去湿处理；而冬季，由于室外寒冷干燥，需要加热加湿以避免室内静电问题，这对电子产品的生产至关重要。
在空调系统的加湿方式上，常见的包括等焓加湿的淋水、湿膜和高压喷雾，以及等温加湿的喷干蒸汽和电热（电极）加湿。其中，淋水和湿膜等水加湿方法虽然投资成本低，但控制精度不高，不适合精度要求在±10%以下的洁净室。而喷干蒸汽和电热式加湿则由于控制精度高，常用于对湿度精度要求严格的恒温恒湿洁净室。
对于生物洁净室，如生物制药、手术室等，由于微生物滋生需要湿度，淋水等水加湿方法不可取，必须采用干蒸汽和电热式加湿以控制微生物的产生和传播。
值得注意的是，近年来南方部分地区冬季室外湿度偏低，这可能导致洁净室加湿不足。一些工厂尝试增加湿膜或喷雾加湿，但实际效果往往不佳，因为必须先加热空气才能有效加湿，否则会形成凝结水。此外，加湿过程中要避免空气流动带水导致过滤器受潮，以及干蒸汽加湿器的蒸汽管和凝结水管的正确设计，以确保水分快速排出，防止电机短路。
在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。