法律分析：1、土地使用权补偿金。工业用地具有一定的使用年限，在使用年限内因政府政策原因需要搬迁的，土地使用权应当按照当地价格参照未使用的年限进行补偿。
2、厂房重置费用。工厂搬迁至新场地之后，需要重新重置厂房，重置厂房所的资金也属于赔偿范围。
3、停产停业损失费。因为拆迁造成企业的停产停业损失的具体费用。
4、搬迁费。机器设备分为可移动和不可移动的，不可移动的机器设备跟房屋一样具有重置成新价，可移动的机器设备以及其他工厂财物搬迁会产生搬迁费用。
5、因搬迁所产生的其他合理费用。
法律依据：《国有土地上房屋征收与补偿条例》
第十七条 作出房屋征收决定的市、县级人民政府对被征收人给予的补偿包括：（一）被征收房屋价值的补偿；（二）因征收房屋造成的搬迁、临时安置的补偿；（三）因征收房屋造成的停产停业损失的补偿。市、县级人民政府应当制定补助和奖励办法，对被征收人给予补助和奖励。
第十八条 征收个人住宅，被征收人符合住房保障条件的，作出房屋征收决定的市、县级人民政府应当优先给予住房保障。具体办法由省、自治区、直辖市制定。