一个卧式氧化炉满载时可以放100片生产硅片,那么使用这个氧化炉进行氧化工艺时？

Question

如题所述

Answer 1

从您提供的信息来看,这个卧式氧化炉的大概情况是:
1. 炉子类型:卧式,用于硅片的氧化工艺。
2. 最大加载量:满载时可以放入100片硅片。
3. 每片硅片大小:根据行业标准,4-6英寸硅片最常见。
4. 单片硅片重量:4英寸约40-60克,6英寸约100-150克。
5. 那么100片硅片总重量约:4英寸片计算,100片约4-6公斤。
6. 氧化温度:热氧化硅片温度约为900-1200°C。
7. 应注意氧化时的均匀性、温度分布、气氛等参数控制。
8. 可以分批进行氧化,每批次适量硅片,确认良率。
9. 需要定期维护、检验设备,确保氧化质量。