氧化铟锡靶材有毒吗

Question

如题所述

Answer 1

氧化铟锡（ITO）靶材本身一般不被认为是有毒的。ITO靶材是由铟和锡的氧化物组成的透明导电材料，常用于制备ITO薄膜。
然而，需要注意的是，ITO靶材在加工或处理过程中可能会产生粉尘，而呼吸进入的粉尘可能对健康造成一定的影响。细小的颗粒或粉尘可能在吸入后沉积在肺部，长期暴露可能对呼吸系统造成刺激或损害。
因此，在使用ITO靶材或进行与ITO相关的工艺操作时，建议采取以下安全措施：
1. 避免吸入粉尘：在处理ITO靶材时，尽量避免吸入粉尘。使用适当的个人防护装备，例如戴上合适的呼吸防护装备（如口罩）以减少粉尘吸入。
2. 避免皮肤接触：尽量避免ITO靶材直接接触皮肤。如有必要，应穿戴适当的防护手套和其他防护装备，以减少与皮肤的接触。
3. 良好通风：在处理ITO靶材或进行相关工艺操作时，请确保工作区域具备良好的通风条件。这有助于减少粉尘的浓度和潜在的吸入风险。
4. 遵循安全操作规程：请遵循安全操作规程和相关的安全指南，以确保安全操作和最小化风险。

Answer 2

氧化铟锡靶材有毒，因显示器行业的发展，近几十年来ITO的使用量大幅增加。职场从事相关作业人员也大量增加，在职场暴露ITO风险与健康危害逐渐引起关注。因氧化铟锡或铟暴露而造成健康危害被报导的案例包括日本10个因吸入氧化铟锡导致肺部疾病案例、美国4例及中国出现1例铟中毒案例。日本最早被报导的2个因吸入氧化铟锡导致肺部疾病（1998及2002 年）案例，皆发生在同一家金属处理工厂，此工厂生产薄膜电晶体液晶显示器（TFT-LCD）所需的氧化铟锡溅镀靶（sputtering target）。这两个案例皆因干咳、呼吸困难始就医，经系列诊断（血液、胸部CT） 发现肺部组织纤维化，这两个案例病患血中铟浓度为 290 µg/l 和 51 µg/l（男性常人平均 值为 0.1 µg/l），肺部有许多细微粒子，经扫描式电子显微镜 X-Ray 光谱分析，这些粒子为铟和锡氧化物，因此判定为吸入氧化铟锡导致间质性肺炎（interstitial pneumonia）。