电感耦合等离子体质谱(光谱)法的灵敏度高、多元素同时测定能力等优势，非常适合于试样量极少，要求测定元素多的稀土单矿物分析。
可根据不同的稀土单矿物特点，采用适当的试样分解方式，制备试样溶液。偏硼酸锂熔融法分解能力强，试剂用量少，引入污染少，可取5～10mg试样，加入5～10倍量的脱水偏硼酸锂熔融，稀酸提取高倍稀释后，根据单矿物种类，直接用ICP-AES法测定较高含量的SiO2、Al2O3、TiO2、MnO、CaO、MgO、Nb2O5、Ta2O5、P2O5、ZrO2、ThO2、稀土等，熔融操作参见第16章硅酸盐岩石分析16.38.2.1偏硼酸锂熔融-等离子体发射光谱法分析主、次量元素。
硝酸-氢氟酸高压封闭酸溶的分解能力也很强，由于待测元素含量较高，取样量可少至1～2mg。以总稀释倍数5000～10000(可用称量法稀释以保证稀释的准确性)，ICP-MS法测定包括稀土分量在内的几十种元素(测定元素根据矿种决定)，是试样用量少，提供信息多的高效分析方法。参见第16章硅酸盐岩石分析16.38.3.1封闭压力酸溶-电感耦合等离子体质谱法分析硅酸盐类试样中49个元素。
参考文献
陈永君，赵宗铃，万俊生.1986.锆石单矿物XRF法分析［J］.岩矿测试，5(4):304-308
徐光宪.1995.稀土(第二版)［M］.北京:冶金工业出版社，137-139
伊丽莹.1985.微量稀土矿物分析［J］.岩石矿物及测试，4(1):63-66
本章编写人:凌进中(中国地质调查局西安地质调查中心)。