臭氧有杀菌、除味、脱色、氧化等功效，在空间灭菌和水处理、医疗等行业广泛应用。臭氧在常温常压下为暂存状态因此无法储存，需现场生产现场使用，凡是用到臭氧的场所均使用臭氧设备。臭氧设备是由 臭氧管、 臭氧电源、气源装置（含 空压机和净化装置）、电控装置组成。臭氧设备的原理是依据臭氧氧化分解了细菌内部氧化葡萄糖所必须的 葡萄糖氧化酶。也可以直接与细菌、病毒发生作用，破坏其细胞器和 核糖核酸，分解DNA、RNA，蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌的物质代谢生长和繁殖过程遭到破坏。臭氧技术在我国应用得比较慢，主要是矿泉水、纯净水等直饮水生产企业、及一些高档住宅小区分质供水优先采用 臭氧发生器进行水处理消毒杀菌等。
随着人们对臭氧知识了解的不断深入，臭氧发生器高效率低成本的广谱杀菌消毒功能已经开始逐渐得到广泛应用，现在我国大部分制药、食品厂家已经开始使用臭氧机对生产线及产品进行高效快速消毒杀菌保鲜处理，同时对生产车间进行严格的空气消毒。同时，医疗部门也开始将臭氧引用到人体某些疾病的预防和治疗，医院开始采用 臭氧机对排污水进行消毒处理后再排放。城市污水处理系统工程也已经开始使用大型 臭氧发生器进行杀菌消毒除味脱色处理，水果蔬菜残余农药的分解消毒及保鲜处理等等。日本、德国、法国、美国、加拿大、韩国、俄罗斯等国家的臭氧应用已经产业化，臭氧应用范围已从水处理扩展到化工、食品、医疗、半导体等行业，臭氧直接用于人类治病的实验研究也有较快发展。
臭氧设备是制取臭氧的装置或机器总称（也称臭氧发生器、臭氧机），主要用于发生制取臭氧气体。臭氧设备的安全操作要求：应保证空气压缩机运行中吸入纯净的空气，严禁易燃易爆气体或有毒气体进人空气压缩机；机组运行时，箱体应关闭，只有在检查时可短时间打开，但应注意运动件和高温件对人体的伤害；冬季或臭氧发生器长时间不工作，应把发生器、后冷却器、预冷机内的水排放掉；臭氧发生间臭氧浓度探测报警装置报警或发生臭氧泄漏事故，应立即打开门窗口，启动排气扇。
臭氧的安全性是有据可依的。人在臭氧化气体环境下的安全卫生标准，其浓度与接触时间的乘积可视为基准点。国家或组织臭氧浓度接触时间国际臭氧协会0.1ppm接触10小时美国0.1ppm接触8小时德、法、日国0.1ppm接触10小时中国0.15ppm接触8小时臭氧浓度在0.02ppm时，嗅觉灵敏的人便可察觉，称为感觉临界值，浓度在0.15ppm时为嗅觉临界值，一般人都能嗅出，也是卫生标准点。当浓度达到1-10ppm时，称为刺激范围，10ppm以上时为中毒限。事实上安全使用臭氧0.1ppm，完全可以保证人的健康不受危害，相反，在呼吸0.1ppm以下浓度臭氧时，对人体会有保健作用。臭氧发现使用至今100多年来，尚无一例臭氧中毒死亡事件。
