场发射扫描电镜为什么要常年开机?

Question

如题所述

Answer 1

场发射扫描电镜的肖特基灯丝尖端表面是一层液态ZrO2，这正是其高的分辨率、大而稳定的灯丝束流等优越性的最直接的原因。正因为如此，必须保证这层液态ZrO2层常年处于稳定的液态状态。一旦冷却固化，需要重新加热、烘烤、除氧，过程十分漫长而复杂，一般只能由专业厂商的维修工程师操作，且明显缩短灯丝使用寿命。因此，场发射扫描电镜需要常年开机。

Answer 2

场发射的热场和冰，常见的高分辨率。热场光束，适合进行分析，但相对较高的维护成本，维护要求高。冷场表面形貌观察适用于相对较低的维护成本，维修要求并不高。

冷场发射电子枪

优势：显色性好，分辨率高

缺点：电子枪束不稳定，梁，不适合频谱分析，每天做一个Flash

热场发射电子枪

优点：稳定的电子束，光束/>缺点：除了几乎单色和分辨率与冷场相比小，其他的可以找不到不足之处。

热场发射电流（总发射电流），最大探针电流（最大电流探头），电子束噪声（梁噪声），发射电流漂移（发射电流漂移），工作真空度（工作真空度），阴极还原（正极再生），对外部影响的敏感性（外部影响的敏感性）拥有一流的优势。这些参数直接影响的电子显微镜的性能。阴极半径（正极半径）的有效半径（有效半径）源的电子源的发射电流密度（发射电流密度），标准的亮度，（正常化亮度），冷场发射稍微好一点。统称这个参数是冷场发射阴极的发射面积小，能量集中，容易聚焦的电子束在一个小点，以提高分辨率。然而，在现代电子显微镜，场致发射电子显微镜，采取有效措施的条件下，电子束可以被汇聚在一个理想的点，以达到冷场发射型电子显微镜的分辨率水平。
热场发射电子显微镜的一个缺点是短命的灯丝（阴极），寿命2000小时，实际可用约三年。冷场发射阴极寿命也比较长，降低更换成本。