近代形而上学唯物主义的严重缺陷有：用机械力学的观点解释一切现象、不能把世界理解为处于运动变化中的过程、不能把唯物主义观点贯彻到社会历史领域等。
近代形而上学唯物主义是一种唯物主义理论，在总结自然科学成就的基础上，丰富和发展了唯物主义。但它把物质归结为自然科学意义上的原子，认为原子是世界的本原，原子的属性就是物质的属性，因而具有机械性，形而上学性，历史观上的
唯心主义等局限性。
与古代朴素唯物主义，辩证唯物主义和
历史唯物主义的共同点，都坚持了唯物主义方向，认为物质决定了意识，意识是物质的反映，二者有着不可分割的历史联系。