六氟化硫断路器结构形式多样，主要有瓷柱式和罐式两种。
首先，瓷柱式结构以积木式设计，具有很好的系列化特性，可以通过组合相同的单元灭弧室和支柱瓷套，构建不同电压等级的断路器。例如，中国生产的FA4-550型SF6断路器，其额定电压高达500千伏，最高工作电压可达550千伏。断路器由三个独立单相和一个液压、电气控制柜构成。每个单相由两个支柱瓷套的四个灭弧室串联而成，采用120°夹角V形布置，且配有水平布置的两个均压并联电容器。这种设计既保证了结构的机械稳定性，又满足了绝缘要求。灭弧室和支柱瓷套内充满额定压力的SF6气体。操作机构采用液压，控制元件和线路集中于控制柜内，每相的下部装有动力元件如液压工作缸，直接驱动灭弧室。支柱瓷套内则装有绝缘操作杆，与液压工作缸相连。
罐式结构则借鉴了箱式多油断路器的优点，结构紧凑，抗震和抗污性能较强，但系列化程度稍逊。以中国LW-220型罐式SF6断路器为例，其采用单相分装设计。断路器由基座、绝缘瓷套管、电流互感器和装有单断口灭弧室的壳体构成。每相配备独立的液压机构和控制柜，既能单独操作，也能通过电气控制实现三相联动。其灭弧室采用双向纵吹式设计，在分闸时，通过拐臂箱传动机构驱动气缸和动触头。这种断路器的灭弧室充满额定气压为6表压（20℃）的SF6气体。
六氟化硫断路器是利用六氟化硫 (SF6)气体作为灭弧介质和绝缘介质的一种断路器。简称 SF6断路器。六氟化硫用作断路器中灭弧介质始于20世纪50年代初。由于这种气体的优异特性，使这种断路器单断口在电压和电流参数方面大大高于压缩空气断路器和少油断路器，并且不需要高的气压和相当多的串联断口数。在60～70年代，SF6断路器已广泛用于超高压大容量电力系统中。80年代初已研制成功363千伏单断口、550千伏双断口和额定开断电流达80、100 千安的SF6断路器。