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12英寸硅片notch的标准尺寸
光刻机是干什么用的,工作原理是什么?
答:
一、用途 光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片...
光刻机工作原理 你知道吗
答:
10、物镜:物镜用来补偿光学误差,并将线路图等比例缩小。11、硅片:用硅晶制成的圆片。硅片有多种
尺寸
,尺寸越大,产率越高。题外话,由于硅片是圆的,所以需要在硅片上剪一个缺口来确认
硅片的
坐标系,根据缺口的形状不同分为两种,分别叫flat、
notch
。
12
、内部封闭框架、减振器:将工作台与外部环境...
光刻机工艺的原理及设备
答:
11. 硅片:硅片是由硅晶体制成的圆形片状物。不同
尺寸的硅片
对应不同的产量,通常来说,尺寸越大,产率越高。额外说明,由于
硅片的
圆形特性,需要在硅片上切割一个缺口以确定坐标系。根据缺口形状的不同,硅片分为“flat”和“
notch
”两种类型。
12
. 内部封闭框架和减振器:这些组件将工作台与外部环境...
光刻机原理
答:
光刻机的主要性能指标有:支持基片的
尺寸
范围,分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面的限制。
光刻机工作原理你知道吗
答:
11. 硅片是由硅晶体制成的圆形片状材料,不同
的尺寸
直接影响生产效率。硅片中央通常有一个缺口,用于标识
硅片的
坐标系,根据缺口的形状,硅片分为平口(flat)和缺口(
notch
)两种类型。
12
. 内部封闭框架和减振器的作用是将工作台与外部环境隔离开来,保持工作台的水平状态,减少外部振动对光刻过程的干扰,并...
光刻的工序
答:
采用6
英寸的
掩膜板按照4:1的比例曝光,曝光区域(Exposure Field)26×33mm。优点:增大了每次曝光的视场;提供硅片表面不平整的补偿;提高整个
硅片的尺寸
均匀性。但是,同时因为需要反向运动,增加了机械系统的精度要求。在曝光过程中,需要对不同的参数和可能缺陷进行跟踪和控制,会用到检测控制芯片/控片(Monitor Chip)。
关于电脑部件的英语单词,我急用!
答:
·RAM:内存Random Access Memory,以PC-代号划分
规格
,如PC-133,PC-1066,PC-2700 ·HDD:硬盘Hard Disk Drive ·FDD:软盘Floopy Disk Drive ·CD-ROM:光驱Compact Disk Read Only Memory ·DVD-ROM:DVD光驱Digital Versatile Disk Read Only Memory ·CD-RW:刻录机Compact Disk ReWriter ·VGA:显示卡(显示卡正式...
常用电脑英语 200分收集
答:
Silicon chip
硅片
Slots插槽 Smart card智能卡 Soft copy软拷贝 Software suite软件协议 Sorting排序分类 Source file源文件 Special-purpose application专用文件 Spreadsheet电子数据表 Standard toolbar
标准
工具栏 Supercomputer巨型机 System cabine 系统箱 System clock时钟 System software系统软件 Satellite/air connection ...
光刻机是干什么用的,工作原理是什么?
答:
二、工作原理 在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到
硅片
上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后...
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答:
二、工作原理 在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到
硅片
上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后...
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