中国纳米压印技术现状

Question

如题所述

Answer 1

中国纳米压印技术现状发展速度加快，前景持续向好。

纳米压印技术指将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术，属于新型微纳加工技术。纳米压印技术通常可分为软刻蚀技术、热压印技术、紫外固化压印技术三种，软刻蚀技术可细分为毛细微模塑、微接触印刷、转移微模塑、复制模塑、热压注塑、溶剂辅助微模塑等。

热压印技术又称热纳米压印技术，在加热加压条件下，利用压印机完成压印操作，进而制得压印胶图案。紫外固化压印技术指利用紫外光照射使压印胶固化，进而达到转移图案的目的。近年来，受益于芯片行业发展速度加快，纳米压印技术应用前景持续向好，其未来有望代替传统光刻技术，成为芯片制造核心技术。

纳米压印技术发展

纳米压印技术已经有了许多方面的进展，最初的纳米压印技术是使用热固性材料作为转印介质填充在模板与待加工材料之间，转移时需要加高压并加热来使其固化。后来人们使用光刻胶代替热固性材料，采用注入式代替压印式加工，避免了高压和加热对加工器件的损坏，也有效防止了气泡对加工精度的影响。

而模板的选择也更加多样化，原来的刚性模板虽然能获得较高的加工精度，但仅能应用于平面加工。研究者们提出了使用弹性模量较高的PDMS作为模板材料，开发了软压印技术。这种柔性材料制成的模板能够贴合不同形貌的表面，使得加工不再局限于平面，对颗粒、褶皱等影响加工质量的因素也有了更好的容忍度。